手動(dòng)探針臺(tái)-高性價(jià)比4探針真空探針臺(tái)微型

KT-Z165M4LT精巧型真空腔體測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面最可升溫到高400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。

該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用軍工級(jí)別真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電學(xué)信號(hào)。

溫控器

加熱溫度

高溫型 35-400℃ 低溫型 室溫- -50℃

注意：熱臺(tái)溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺(tái)面測(cè)量熱電阻值對(duì)應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。

溫控誤差

±1℃

熱電偶類型

PT100高精度傳感器

溫控表

宇電PID溫控器

程序控溫

1段（可選30段程序控溫表）

加熱功率

≤300W

加熱電源

AC220v

尺寸

230x230x125MM

重量

6kg

真空探針熱臺(tái)

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

加工方式

一體式CNC精加工

內(nèi)腔體尺寸

137X57X21mm 容積165ML

加熱臺(tái)尺寸

Φ35mm

觀察窗內(nèi)徑

Φ45mm

觀察窗材質(zhì)

高透光石英玻璃

信號(hào)輸出頭

SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V

抽氣口

KF16

進(jìn)氣口

6MM卡套

使用正壓

≤O.05MPa

使用負(fù)壓

機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa

可擴(kuò)展配件

氣體液體注射口

4芯電信號(hào)接頭

8芯電信號(hào)接頭

SMA905 光纖接口

擴(kuò)展5KV高壓電極

升級(jí)30段控溫儀表

移動(dòng)探針

探針規(guī)格

探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm

上下移動(dòng)距離

2.5mm

前后移動(dòng)距離

±10mm

左右旋轉(zhuǎn)距離

120°

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聯(lián)系人：李工

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