供應(yīng)DRF50單晶生長(zhǎng)爐

  • 總供應(yīng)量500
詳細(xì)信息:

產(chǎn)品描述:

DRF50單晶硅生長(zhǎng)爐

用途:

主要用于二極管單晶硅棒、硅芯原料棒拉制,多晶硅原料的檢測(cè)。

主要技術(shù)參數(shù)

DRF-50

拉制晶體直徑:     Ф3″(Ф80mm)

熔料量         10Kg (10″坩堝)

主爐室內(nèi)徑         850mm

加熱方式          石墨電阻加熱

籽晶拉速          0.2-8mm/min

籽晶轉(zhuǎn)速          0-30rpm

坩堝升速          0.02-1mm/min

冷爐極限真空度