半導(dǎo)體老化測(cè)試設(shè)備

一、簡(jiǎn)介:

為了達(dá)到滿意的合格率，幾乎所有產(chǎn)品在出廠前都要先經(jīng)過老化。在老化過程中進(jìn)行功能測(cè)試的方案，以降低和縮短老化過程所帶來的成本和時(shí)間問題。

????半導(dǎo)體、元器件隨時(shí)可能因?yàn)楦鞣N原因而出現(xiàn)故障，老化就是通過讓半導(dǎo)體、器件進(jìn)行超負(fù)荷工作而使缺陷在短時(shí)間內(nèi)出現(xiàn)，避免在使用早期發(fā)生故障。

????如果不經(jīng)過老化，很多半導(dǎo)體產(chǎn)品由于器件和制造工藝復(fù)雜性等原因在使用中會(huì)產(chǎn)生很多問題。在開始使用后的幾小時(shí)到幾天之內(nèi)出現(xiàn)的缺陷(取決于制造工藝的成熟程度和器件總體結(jié)構(gòu))稱為早期故障， 老化之后的器件基本上要求通過這段時(shí)間。

?一般來講，老化工藝通過工作環(huán)境和電氣性能，兩方面對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行苛刻的試驗(yàn)使故障盡早出現(xiàn)，典型的半導(dǎo)體壽命曲線如下圖所示：

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由圖可見，主要故障都出現(xiàn)在器件壽命周期開始和最后的十分之一階段。老化就是加快器件在其壽命前10%部分的運(yùn)行過程，迫使早期故障在更短的時(shí)間內(nèi)出現(xiàn)，通常是幾小時(shí)而不用幾月或幾年。不是所有的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商對(duì)所有器件都需要進(jìn)行老化，普通器件制造由于對(duì)生產(chǎn)工藝比較了解，因此可以預(yù)先掌握經(jīng)過統(tǒng)計(jì)得出的失效預(yù)計(jì)值。如果實(shí)際故障率高于預(yù)期值，就需要再作老化，提高實(shí)際可靠性以滿足用戶的要求。

半導(dǎo)體老化測(cè)試設(shè)備：

半導(dǎo)體老化板 Burn-in Board:

老化板布線圖：

老化驅(qū)動(dòng)板 Driver Board：