一、簡介:
聲學掃描顯微鏡是一種非破壞性的檢測組件的完整
性,內部結構和材料的內部情況的儀器,作為無損檢
測分析中的一種,它可以實現在不破壞物料電氣能和
保持結構完整性的前提下對物料進行檢測。被廣泛的
應用在物料檢測(IQC)、失效分析(FA)、質量控
制(QC)、質量保證及可靠性(QA/REL)、研發(R&D)
等領域。
?
二、超聲掃描成像顯微成像技術應用:
1.微電子:塑封IC,陶瓷電容,模片固定,芯片級封裝,倒裝,
? 印刷電路板(PCB)等
2.微機械系統:粘結芯片,制造工藝評估,包裝
3.軍事/航天/汽車電子:高可靠性資格篩選,產品升級篩選
4.材料:陶瓷,剝離,金屬,塑料,化合物
5.其他:微陣列芯片,生物芯片,微射流技術,傳感器等
?
三、詳細參數:
超聲波探頭頻率:5M到450M
超聲波掃描模式:A-Scan(某點掃描)、
??????????????? B-Scan(塊掃描)、
??????????????? C-Scan(層掃描)、
??????????????? Multi-Scan(多層掃描)、
??????????????? Q-BAM(虛擬橫截面)、
??????????????? T-Scan (穿透式掃描)、
??????????????? 3-V(3維圖像)、
??????????????? Tray-Scan(盤掃描)
掃描范圍:12.9*12.4英寸
分辨率:8192*8192
選擇的聲波寬度:0.25納秒到1微秒
Z軸分辨率:9納米